姓名：刘文娟

单位：工业科学研究院

职称：讲师

学历：博士

E-mail: lwjwhu@whu.edu.cn

研究方向：压电MEMS器件及其应用；声学传感器电路与系统

简介

刘文娟，女，武汉大学工业科学研究院讲师。研究方向为压电MEMS器件及应用，主要从事压电MEMS声学传感器设计与制备、氮化铝/掺钪氮化铝薄膜生长与缺陷控制、高分辨率超声成像系统等研究。在IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control、IEEE Sensors、IEEE IUS等著名国际期刊及高水平国际会议上发表论文10余篇，申请及授权中国发明专利共3项。参与包括国家科技部重点研发计划、国家自然科学基金以及重要企业资助等科研项目共5项。

学习与工作经历

2007-2011 天津大学 本科

2011-2014 天津大学 硕士

2014-2020 复旦大学专用集成电路与系统国家重点实验室 博士

2016-2017 新加坡南洋理工大学（NTU）和新加坡微电子研究所（A*STAR IME） 联合培养

2017-2019法国国家科研中心电子微纳米技术研究所光声电实验室(CNRS-IEMN-DOAE, Université Polytechnique Hauts-de-France) 联合培养

Selected Publications (*Corresponding author)

1. Wang, Lei; Wei Zhu; Zhipeng Wu; Wenjuan Liu* and Chengliang Sun*. "A Novel Coupled Piezoelectric Micromachined Ultrasonic Transducer Based on Piston Mode." IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control (Jun 17 2021)

2. Bohao Hu; Yan Liu; Binghui Lin; Wenjuan Liu* and Chengliang Sun*. "A Novel Trapezoidal Scaln/Aln-Based Mems Piezoelectric Accelerometer." IEEE Sensors Journal (2021)

3. Bohao Hu; Binghui Lin; Wenjuan Liu* and Chengliang Sun*. High Sensitivity Piezoelectric MEMS Microphones Based on AlN With Cavity-SOI. Proceedings of the 2021 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS), Xian, China,2021-09-11至2021-09-12.

4. Wenjuan Liu; Leming He; Xubo Wang; Jia Zhou; Weijiang Xu; Nikolay Smagin; Malika Toubal; Hao Yu; Yuandong Gu; Jinghui Xu; Denis Remiens and Junyan Ren*. 3D FEM Analysis of High-Frequency AlN-Based PMUT Arrays on Cavity SOI. Sensors, 2019, 19(20):4450-4465.

5. Wenjuan Liu; Weijiang Xu; Jia Zhou; Nikolay Smagin; Malika Toubal; Leming He; Xubo Wang; Hao Yu; Yuandong Gu; Jinghui Xu; Lynda Chehami; Denis Remiens and Junyan Ren*. High Voltage Excitation and Nonlinear Transmission of a 16MHz AlN-Based Piezoelectric Micro-Machined Ultrasonic Transducer. Proceedings of the 2018 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS), Kobe, Japan, 2018-10-22至2018-10-25.