院长： 徐红星
副院长： 刘胜
副院长： 何军
院长助理： 孙成亮，刘威
微电子研究部
主任：孙成亮
光电子研究部
主任：王植平
微电子材料研究部
主任：袁荃
微电子装备研究部
主任：宋毅
微纳加工中心主任
主任：江金光、管志强
行政管理办公室
主任：周英
教授委员会
主席： 徐红星院士
委员： 徐红星、何军、刘胜、龚威、袁荃、孙成亮、李仲阳、江金光、王植平、常胜、刘威
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